簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "林紀穎".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="4H單晶碳化矽材料"


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    三維力量分析於複線式鑽石線鋸加工製程研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
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    •   複線式鑽石線鋸(Multi-Wire Diamond Wire Sawing, MW-DWS)在目前晶圓切片製程中最具發展性,其中固定式磨料線鋸以鑽石線材進行往復式加工製程,因高效率的特點,在半…
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